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                            氣體顆粒度分析檢測

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                            管道顆粒度檢測

                            a.測試目的和標準

                            對高純氣體輸送系統微粒濃度的檢測

                            b.測試儀器

                            1cf塵埃粒子計數器(0.1um)

                            c.測試前準備

                            (1)在圖紙上標出微粒測試的管路, 并將取樣點和吹掃氣體導入點在圖上標出。

                            (2)將經過過濾的純凈氣體接入測試管路中, 調節流量, 確保流量不超過過濾器的額定流量。

                            (3)確保待測系統中的閥門和調壓閥處在開啟位置。

                            e.測試方法

                            1)檢查系統內的氣體流速, 確保系統流量符合微粒測試的最小的速度要求。

                            (2)使用管徑至少是1/4” 的不銹鋼EP管材和微粒儀相連。選取各系統的最不利的用氣點(即系統內管路最長、走向最復雜的用氣點)進行測試,或經甲方工程主管指定用氣點進行抽樣測試。

                            用塵埃粒子計數器連接氣體管道采樣。儀器布置示意圖如下:

                            塵埃粒子計數器進行在線監測測量,當觀察到讀數滿足要求并穩定一段時間之后,即停止測試。塵埃粒子測量在連續十個周期(1min為一個周期)合格之后停止測量。

                            (3)持續抽樣直到系統達到驗收標準。

                            測試完成

                            1)把粒子計數器從系統中移走,然后降低系統的流量。

                            2)在測試的完成后應保持系統或組件在正壓下或在吹掃狀態中。

                            3)在微粒測試成功完成之后通知業主質量管理員。

                            測試失?。航涍^測試,如果系統達不到驗收標準, 執行以下步驟來找出并解決問題。

                            1)檢查入口過濾器

                            2)把粒子計數器直接連接在已過濾過的氣源取樣管路中。如果微粒計數儀在20 分鐘內達到零.說明過濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統,重新測量直到系統到達驗收標準。

                            g.具體測試步驟

                            PN2(10)、Par(5)、PHe(1)設備接頭共同串聯,一次完成顆粒測試。

                            NH3(5)、SiH4(5)、1% PH3/H2(5)、NF3(5)、PH2(5)針對不同的氣體不同管道單獨顆粒測試;


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